资源与基础材料(石英砂 · 工业硅 · 稀有气体 · 靶材)
硅料决定成本底 · 气体与靶材是耗材属性的耗材
上游资源
高纯石英砂(坩埚与硅片原料,自给率高但高纯等级依赖进口);工业硅 / 多晶硅(半导体级纯度要求远高于光伏级);氦气(天然气提氦,半导体冷却与光纤用,全球储量集中);稀土(镧铈镨钕镝铽,靶材与抛光粉的原料,2025 起受出口管制);金属靶材(铝 / 钛 / 钽 / 铜,超高纯金属成型);光刻胶树脂与 PAG(KrF 以上国产化率个位数)。
耗材属性
光刻胶、特种气体、抛光液、靶材在晶圆厂是按片消耗的耗材,不是设备折旧。国产替代的主战场因此不在"能不能做出来",而在批次一致性与客户验证周期——这两项决定了替代是渐进还是阶跃。
落地点
材料成本占晶圆制造直接成本的相当比重,但真正卡脖子的是纯度与一致性:同一台光刻机,换一批光刻胶就可能改变良率曲线。这是国产材料验证周期普遍以年计的根本原因。